隨著微電子技術和納米技術的快速發展,光刻技術成為了半導體制造和高精度微加工中的核心技術。尤其是半自動光刻機,憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經在許多高精度微加工領域中得到了廣泛應用。一、半自動光刻機的工作原理光刻技術通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發生化學...
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsedlaserablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。不過,脈沖激光沉積的發展與探究,處處受制。事實上,當時的激光科技還未成熟,可以得到的激光種類有限;輸出的激光既不穩定,重復頻率亦太低,使任何實際的膜生成過程均不能付諸實行。因此,PLD在薄膜制作的發展比其它技術落后。以分子束外延(MBE)為例,制造出來的薄膜質素就優良得多。往后十年,由于激光科技的...
納米壓印系統是一種用于數學、物理學、化學、材料科學領域的工藝試驗儀器。生物大分子的納米圖案變化對于組織工程具有非常重要的意義,如何將在生物活性前提下實現生物大分子的納米圖案仍然是一個科學挑戰。利用納米壓印過程的生物相溶性,可以將生物大分子DNA、蛋白質等直接進行納米圖案化,進而研究其在生物醫療和組織工程領域的應用。納米壓印方法:包括步驟:提供集成模具;所述集成模具包括平面板以及緊密固定在所述平面板上的多個具有納米圖案的單元模具;提供襯底;在所述襯底表面形成光刻膠層;將所述集成...
皮可安培計轉動線圈式電流表轉動線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。基本簡介:?測量電路中電流強度的儀器,也叫安培表、電流表。主要類型有轉動線圈式電流表、轉動鐵片式電流表、熱偶式電流表以及熱線式電流表轉動線圈式電流表轉動線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。皮可安培計...
多功能磁控濺射儀在所有的小型高真空鍍膜設備中,此設備功能強大,性能價格比非常好。鍍膜方式包含了熱蒸發,電子束蒸發和磁控濺射沉積。由于它的模塊化設計,使得多數研發人員用起來非常方便,針對各種樣品易于轉換沉積條件,是研究人員不可獲缺的鍍膜工具!系統主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。主要性能指標:極限壓力≤2.0x10-5Pa;基片結構設計6個工位;樣品尺寸:Ф30mm,可放置6片;運動方式:0-360°;...
開爾文探針掃描是一種基于振動電容的非接觸無損氣相環境金屬表面電位的測量技術,用于測量材料的功函數(WorkFunction)或表面勢(SurfacePotential)。它可以用于檢測氣相環境中因溫度、濕度、表面的化學、電學、力學、晶體、吸附、成膜等因素引起的材料表面電勢的微小變化,是一種高靈敏的表面電化學分析技術,是能夠測定氣相環境中腐蝕電極表面電位的方法。特點:(1)高速高分辨電位分布測量功能。(2)快速變化電位分布測量功能。(3)低噪聲電位分布測量功能。(4)智能調試功...
磁濺射鍍膜機是一種普適鍍膜機,用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜,亦可鍍鐵磁材料。磁濺射鍍膜機主要用于實驗室制備有機光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。真空鍍膜技術作為一種產生特定膜層的技術,在現實生產生活中有著廣泛的應用。真空鍍膜技術有三種形式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術發展來的磁控濺射鍍膜的原理及相應工藝的研究。濺射屬于PDV(物...
電話
微信掃一掃